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J-GLOBAL ID：200903043527398076

光学的な開口の作製方法

Inventor： 篠原 陽子 ,  大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  笠間 宣行 ,  前田 英孝 ,  市原 進 ,  加藤 健二 ,  新輪 隆
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000367561
Publication number (International publication number)：2002168760
Application date： Dec. 01, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 簡便な方法で均一な開口径を有する光学的な開口を形成する方法を提供すること。【解決手段】 錐状突起と前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、少なくとも前記錐状突起上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、押し込み用具で、少なくとも前記錐状突起および前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記チップに向かって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも略先端を除いて十分な厚さを持つ遮光膜で覆われた微小突起先端に光学的な開口を作製する方法において、錐状突起と、前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、前記錐状突起上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、押し込み用具が、少なくとも前記錐状突起及び前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記錐状突起に向かって変位させることにより、前記錐状突起先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

IPC (2)：

G01N 13/14 ,  G12B 21/06

FI (2)：

G01N 13/14 B ,  G12B 1/00 601 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光学的な開口の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-367560   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社