リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阪本善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996294571
Publication number (International publication number)：1998127035
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】リニアモータのコイルを冷却する冷却ジャケットに渦電流等が発生して、駆動効率が低下するのを防ぐ。【解決手段】ウエハステージのYリニアモータ40の可動子41は、互に対向する一対の磁石41aを有し、固定子42を貫通させる開口を有する中空枠体である。固定子42は、冷却ジャケット42bに内蔵されたコイル列42aを有し、冷却ジャケット42bの流路42dを流動する冷媒によってコイル列42aの各コイルを冷却する。冷却ジャケット42bをセラミック等の絶縁体によって構成することで、渦電流を防ぐ。

Claim (excerpt)：

磁石を有する磁気手段と、該磁気手段の前記磁石に対向するコイル面を有するコイルと、該コイルの少なくとも前記コイル面を強制冷却する冷却手段を有し、該冷却手段が、絶縁体によって構成されていることを特徴とするリニアモータ。

IPC (6)：

H02K 41/02 , B23Q 5/28 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , H02K 9/00

FI (6)：

H02K 41/02 Z , B23Q 5/28 B , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K , H02K 9/00 Z , H01L 21/30 515 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

XYステージ装置およびこれに用いるリニアモータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-066197 Applicant：キヤノン株式会社
リニアモータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-310501 Applicant：株式会社ニコン
リニアモータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-199436 Applicant：日立金属株式会社

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