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J-GLOBAL ID：200903043596002923

ブラッググレーティング圧力センサ

Inventor： 平山 紀友 ,  佐野 安一
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 篠部 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998345238
Publication number (International publication number)：2000221085
Application date： Dec. 04, 1998
Publication date： Aug. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】光源の光量の変動の影響の少ない、かつ、多点の圧力計測に適したBG圧力センサを提供する。【解決手段】BG圧力センサは、力を受け変位するセンシング部6(ダイアフラム61)と、このセンシング部6の変位箇所に設置される光導波路1の一部に形成された変位検出用BG3と、センシング部6の変位影響の少ない箇所で変位検出用BG3の近傍領域に設置される補償用BG4と、を備えて構成される。

Claim (excerpt)：

力を受け変位するセンシング部と、このセンシング部に設けられる光導波路と、この光導波路の一部に形成された変位検出用ブラッググレーティング(以下、BGと略称する)と、前記光導波路の一部で前記変位検出用BGの近傍に形成される補償用BGと、を備え、この補償用BGのブラッグ波長を測定して変位検出用BGの波長特性を補償する、ことを特徴とするブラッググレーティング圧力センサ。

IPC (4)：

G01L 1/24 ,  G01B 11/16 ,  G01L 11/02 ,  G02B 6/122

FI (4)：

G01L 1/24 A ,  G01B 11/16 Z ,  G01L 11/00 B ,  G02B 6/12 A

F-Term (21)：

2F065AA65 ,  2F065DD00 ,  2F065EE01 ,  2F065FF41 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065UU03 ,  2F065UU07 ,  2H047KA04 ,  2H047KA05 ,  2H047KA12 ,  2H047LA03 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047RA00 ,  2H047TA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光導波路型圧力センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-174265   Applicant：三菱重工業株式会社
• 特表昭62-500052
  
• 圧力センサ及び圧力測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-317213   Applicant：古河電気工業株式会社, 財団法人河川情報センター