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J-GLOBAL ID:200903043866567871

欠陥検出装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 小林 和憲 ,  飯嶋 茂
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008085794
Publication number (International publication number):2009236826
Application date: Mar. 28, 2008
Publication date: Oct. 15, 2009
Summary:
【課題】S/N比を低下させることなく精度の良い欠陥検出を行う。【解決手段】ハロゲンランプ22と受光器24との間には第1及び第2偏光板25,26が設けられている。第1及び第2偏光板25,26は、互いの偏光方向25a,26aが直交するように配置されている。第1偏光板25と第2偏光板26との間にはフィルム16が走行している。受光器24の直前には除去光学系27が設けられている。ハロゲンランプ22から発する光には、600nm〜800nmの波長域に輝線が一つだけ存在する。そのため、フィルム16上に干渉縞が発生することはほとんどない。【選択図】図3
Claim (excerpt):
フィルムの一方の面側に設けられた第1偏光板と、前記フィルムの他方の面側に設けられた第2偏光板とを用い、前記第1偏光板及び前記第2偏光板をクロスニコルに配置して、前記フィルムの欠陥を検出する欠陥検出装置において、 輝線を有しない又は1つのみ有する光を、前記第1偏光板を介して、前記フィルムに投光する投光器と、 前記フィルムから出た光を、前記第2偏光板を介して受光する受光器と、 前記受光器で得られた受光信号に基づいて、前記フィルムの欠陥を検出する欠陥検出部とを備えることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (1):
G01N 21/892
FI (1):
G01N21/892 A
F-Term (9):
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051CA01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051DA06
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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