ヒーター部品

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中島淳 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997231468
Publication number (International publication number)：1999067427
Application date： Aug. 27, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】酸化性雰囲気中、真空雰囲気中、さらには腐食性雰囲気中においても高耐久性を発揮し、且つ、温度均一性に優れたヒーター部品を提供する。【解決手段】密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体で形成され、好ましくは、焼結体はホットプレスにより形成される。また、物性としては、体積抵抗率が10Ωcm以下、含まれる不純物元素の総含有量が1ppm以下であることが好ましい。

Claim (excerpt)：

密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体で形成されたことを特徴とするヒーター部品。

IPC (3)：

H05B 3/14 , C04B 35/626 , H01L 21/205

FI (3)：

H05B 3/14 C , H01L 21/205 , C04B 35/56 101 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体製造装置用高純度β型炭化ケイ素焼結体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-306293 Applicant：株式会社ブリヂストン
特開昭60-191081
特開平4-130061

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