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J-GLOBAL ID:200903044452433284

III族窒化物半導体発光素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢口 平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999161182
Publication number (International publication number):2000349335
Application date: Jun. 08, 1999
Publication date: Dec. 15, 2000
Summary:
【要約】【課題】Si単結晶基板上に、連続性があり平坦なIII族窒化物半導体結晶層から成る発光部を構成するための、下地層としてのBP層の構成要件を明確にする。【解決手段】B原子、P原子を拡散させたシリコン基板上にBP緩衝層を積層し、その上に発光部を設ける。この発光部を備えた積層構造体からIII族窒化物半導体光デバイスを構成する。
Claim (excerpt):
Si単結晶基板上に、一般式Al<SB>a</SB>Ga<SB>b</SB>In<SB>1-a-b</SB>N<SB>q</SB>M<SB>1-q</SB>(0≦a,b≦1、a+b≦1、Mは窒素以外の第V族元素を表し、0<q≦1)で表される半導体層を含むIII族窒化物半導体発光素子において、Si単結晶基板に接してリン化ホウ素を主体とする第1の緩衝層をもち、該接した面からSi単結晶側に、ホウ素原子またはリン原子から選ばれた1種以上の原子の拡散層を有することを特徴とするIII族窒化物半導体発光素子。
F-Term (9):
5F041AA40 ,  5F041CA23 ,  5F041CA33 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA57 ,  5F041CA64 ,  5F041CA65 ,  5F041CA72
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

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