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J-GLOBAL ID：200903044651968820
マイクロメカニックな構成要素の製法並びにマイクロメカニックな構成要素
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999124817
Publication number (International publication number)：2000024965
Application date： Apr. 30, 1999
Publication date： Jan. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】 規定の幾何学的なデザインパラメータを適当に設定することによりプロセス誤差に関連して特性データのばらつきを僅かに維持もしくは減少させる。【解決手段】 ウェブ及び溝を備えた構造を形成するエッチングプロセスにより、少なくとも1つの幾何学的なデザインパラメータ(bm ,bf ,d)に関連した単数又は複数の電気的又は機械的な機能特性値(S)を有するマイクロメカニックな構成要素、特に容量性の加速度センサを製作する方法において、マイクロメカニックな構成要素の局部領域内の幾何学的なデザインパラメータがプロセスに起因する予め規定された法則性を受けるように、特に機能ブロック形式でほぼ一定であるように、マイクロメカニックな構成要素用のデザインを設計し、これにより、エッチングプロセスの際にマイクロメカニックな構成要素内のデザインパラメータのプロセス誤差(△)がほぼ位置依存性を示さない。
Claim (excerpt)：
ウェブ及び溝を備えた構造を形成するエッチングプロセスにより、少なくとも1つの幾何学的なデザインパラメータ(bm ,bf ,d)に関連した単数又は複数の電気的又は機械的な機能特性値(S)を有するマイクロメカニックな構成要素、特に容量性の加速度センサを製作する方法において、マイクロメカニックな構成要素の局部領域内の幾何学的なデザインパラメータ(bm,bf ,d)がプロセスに起因する予め規定された法則性を受けるように、特に機能ブロック形式でほぼ一定であるように、マイクロメカニックな構成要素用のデザインを設計し、これにより、エッチングプロセスの際にマイクロメカニックな構成要素内のデザインパラメータのプロセス誤差(△)がほぼ位置依存性を示さないことを特徴とする、マイクロメカニックな構成要素の製法。
IPC (6)：
B25J 7/00
, B62D 57/00
, G01P 15/125
, H01L 21/3065
, H01L 21/306
, H01L 29/84
B25J 7/00
, G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
, B62D 57/00 G
, B62D 57/00 B
, H01L 21/302 B
, H01L 21/306 J
Cited by examiner (1)
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超小形電気機械式横方向加速度計
Gazette classification：公表公報
Application number：特願平7-500755
Applicant：コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド
Article cited by the Patent：
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