超小形電気機械式横方向加速度計

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995500755
Publication number (International publication number)：1996510837
Application date： May. 23, 1994
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：

【要約】ミクロン下の形状を有する超小形電気機械式加速度計(60)は、単結晶シリコン基板(10)からつくられる。該加速度計は、製造工程中に基板内に形成される空隙の床の上で片もちされた、横向きに伸びる高アスペクト比の解放されたフィンガ(110〜117、120〜127)を担っている軸方向のビーム(102)を組み込んでいる移動可能な部分を含んでいる。該移動可能な部分は、該構造の共鳴周波数を変化させるために、制御可能な可撓性を有している復帰ばね(132、142)によって支持されている。多重ビーム構造は、高精度を得るための、移動可能な部分の剛性を与える。

Claim (excerpt)：

測定されるべき加速物に応答して移動することが可能な細長い支持ビームと、上記支持ビームによって担われるとともにこれから伸び、上記ビームとともに移動することが可能な、複数の横方向に伸びる離間された平行なフィンガと、上記の細長い支持ビームを担うとともにこれに接続され、上記支持ビームを安息位置の方に付勢する、可撓性を備えた復帰ばねとを含んでいて、上記の移動可能なビームと移動可能なフィンガとばねとが、1〜3マイクロメータの範囲内の最小寸法を備えつつ高いアスペクト比を有している、超小形機械式加速度計。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特表平4-504003
特開昭62-123361
特開平1-253657

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