異物検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：早川誠志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000155366
Publication number (International publication number)：2001337176
Application date： May. 25, 2000
Publication date： Dec. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】微小な異物の見過ごしを防ぐ。【解決手段】異物検出手段37は、透過画像取得手段31によって得られた被検査体の透過画像情報に基づいて被検査体に含まれる異物の有無、位置および大きさを検出する。判定手段38は、異物検出手段37が検出した異物が基準より大きいか否かを判定し、強調画像生成手段39は、基準より小さいと判定された異物に対して、その異物を認識しやすくするための強調画像情報を生成する。表示制御手段40は、被検査体の外形画像を表示装置41に表示し、基準の大きさ以上と判定された異物については、外形中の存在位置に検出された大きさで識別表示し、基準より小さいと判定された異物については、強調画像生成手段39によって生成された強調画像を外形中の存在位置に表示する。

Claim (excerpt)：

被検査体を透過する透過線を出力する透過線出力部および被検査体を透過した透過線の強さを検出する透過線検出部からなる透過センサと、前記透過センサの透過線検出部の出力に基づいて被検査体の各部位毎の透過線に対する影響度の違いを示す透過画像情報を求める透過画像取得手段と、前記透過画像取得手段によって得られた透過画像情報に基づいて被検査体に含まれる異物の有無、位置および大きさを検出する異物検出手段と、前記異物検出手段が検出した異物が、予め設定されている基準の大きさより大きいか否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記基準の大きさより小さいと判定された異物に対して、その異物を認識しやすくするための強調画像情報を生成する強調画像生成手段と、画像を表示するための表示装置と、前記被検査体の少なくとも外形画像を前記表示装置に表示し、前記異物検出手段によって検出された前記基準の大きさ以上の異物については、前記外形中の存在位置に前記検出された大きさで識別表示し、前記基準より小さいと判定された異物については、前記強調画像生成手段によって生成された強調画像を前記外形中の存在位置に表示する表示制御手段とを備えた異物検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体ウエハ等の不良解析方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-085562 Applicant：株式会社日立製作所
特開平3-125945
表示装置における画素欠陥のマーク方法及びマーク装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-199009 Applicant：横河エー・ディー・エス株式会社

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