超臨界流体を利用した洗浄装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995019000
Publication number (International publication number)：1996206485
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Aug. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】短時間に被洗浄物質の洗浄を行え、かつ、被洗浄物質の表面に付着したパーティクルまで除去することができる洗浄装置を提供する。【構成】洗浄槽1に循環経路7が接続されている。循環経路7には循環機2が設置されている。循環機2は、被洗浄物質4の洗浄中に、洗浄媒質である超臨界流体を循環させる。

Claim (excerpt)：

洗浄槽内に導入された超臨界流体により、被洗浄物質を洗浄する洗浄装置において、前記洗浄槽と複数の接続口で接続された循環経路と、前記被洗浄物質の洗浄中に、前記洗浄槽内の圧力を略一定に保ちながら、超臨界流体を循環させる手段と、を備えてなることを特徴とする洗浄装置。

IPC (3)：

B01J 3/06 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 341

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平1-170026
精密洗浄方法および精密洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-202001 Applicant：日機装株式会社
超臨界流体による処理装置および処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-278503 Applicant：オムロン株式会社

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