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J-GLOBAL ID：200903044929069970

プラズマイオン質量分析装置

Inventor： 高田 紳一 ,  中川 良知
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995271405
Publication number (International publication number)：1997115476
Application date： Oct. 19, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 試料による装置内部の汚染を軽減して安定な測定を行うための機構を提供する。【解決手段】 イオンレンズが、イオンビームを収束させるためのアインツェルレンズとイオンビームを偏向させる偏向器および1対以上で構成された補正電極を持ち、これらの電極に印加する電圧を任意に制御できる機構を持つ。またはイオンビームの流路の途中に遮蔽版を持ちこの遮蔽版をイオン流路に出し入れするための駆動機構を有する。【効果】 試料中の微量不純物を効率よく検出できるばかりでなく、安定した測定ができるようにする。

Claim (excerpt)：

試料をプラズマ中でイオン化するプラズマイオン源と、生成したイオンを真空容器内に導くサンプリングインターフェースと、前記真空容器内に設置された前記イオンを収束させるためのイオンレンズと、前記イオンを質量分離する質量分析器と、前記質量分析器により分離された所定の質量のイオンを検出する検出器を有するプラズマイオン質量分析装置において、試料を質量分析している時間以外の期間はプラズマイオン源から前記質量分析器へのイオン又は粒子の流入を防ぐためのシャッター手段を設けたことを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。

IPC (4)：

H01J 49/06 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/22 ,  H01J 49/26

FI (4)：

H01J 49/06 ,  G01N 27/62 B ,  H01J 49/22 ,  H01J 49/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• プラズマイオン源質量分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-226098   Applicant：セイコー電子工業株式会社
• 元素分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-009751   Applicant：株式会社島津製作所