ガス濃度測定装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：西村教光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995055455
Publication number (International publication number)：1996247939
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 2倍波位相敏感検波信号を用いた場合でも、半導体レーザへの戻り光の影響を十分に取り除き、常に安定した高精度なガス濃度測定を行う。【構成】半導体レーザ3から前方に発光したレーザ光を集光するレンズには非球面レンズ2aを用い、半導体レーザ3から後方に発光したレーザ光を入射する波長安定化用ガスを封入した参照ガスセル5の両端面5a,5bを射光軸に対して斜めに形成する。非球面レンズ2aと半導体レーザ3との間、半導体レーザ3と参照ガスセル5との間のそれぞれの光路上には光アイソレータ23,24を配置する。これにより、半導体レーザ3が出射するレーザ光を安定化する。安定化されたレーザ光は測定対象ガスの雰囲気を通って光半導体モジュールと対向配置された受光部に検出され、この受光信号により得られる基本波信号と2倍波信号の比からガス濃度を計測する。

Claim (excerpt)：

周波数変調されたレーザ光を前方および後方の両面より出射する半導体レーザ(3)と、該半導体レーザの前方からのレーザ光を集光する非球面レンズ(2a)と、該非球面レンズと該非球面レンズの前方の光路上に配置された第1の光アイソレータ(23)と、前記半導体レーザの後方からのレーザ光を集光する非球面レンズ(2b)と、前記半導体レーザの後方からのレーザ光を通す面が射光軸に対して所定の角度傾斜し、内部に波長安定化用ガスを封入した参照ガスセル(5)と、該参照ガスセルと前記非球面レンズ(2b)との間の光路上に配置された第2の光アイソレータ(24)と、前記参照ガスセルを通ったレーザ光を検出するフォト検出器(6)と、該第1のフォト検出器の出力に対応して前記半導体レーザの温度を安定化する温度制御素子(4)と、前記半導体レーザの前方から測定対象ガスの雰囲気を通ったレーザ光を受光検出する受光部(31)と、該受光部の出力信号から前記半導体レーザの変調周波数の基本波位相敏感検波信号および2倍波位相敏感検波信号を検出し、両者の信号の比に基いて前記測定対象ガスのガス濃度を計測する計測部(32)とを備えたことを特徴とするガス濃度測定装置。

IPC (5)：

G01N 21/39 , G01M 3/04 , G01M 3/38 , G01N 21/01 , G01N 21/35

FI (6)：

G01N 21/39 , G01M 3/04 F , G01M 3/38 K , G01M 3/38 L , G01N 21/01 D , G01N 21/35 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平4-326042
微粒子モニタセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-155828 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開平4-177149

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