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J-GLOBAL ID：200903045275784051

マルチセクションRFコイルおよび隔離された導電性蓋を有するプラズマ・リアクター

Inventor：
ジェラルド ツェヤオ イン

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ヒロジ ハナワ

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ダイアナ シャオビン マー

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ドナルド オルガド

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Applicant, Patent owner：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995181544
Publication number (International publication number)：1996213196
Application date： Jul. 18, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】処理されるウエハのスパッタリング速度を制御する。【解決手段】複数のコイル・セクションを有し、個々のコイル・セクションがRF源を渡って接続され、コイル・セクションの共通のタッピングされたものが、反対方向に巻かれているRFコイルを用いることにより、容量結合およびRFパワー散逸が有利に低減される。外側絶縁性環と、内側導電性ディスク部とを有し、導電性ディスク部が環の幅によって前記コイルから離れて変位されているか又は離れて配置されてなる頂部の蓋を用いることによって、容量結合およびRFパワー散逸は更に低減される。この変位は、RFパワー散逸およびコイルの頂部巻きから蓋へのRFパワー散逸ないし結合をかなり低減させる。更に、複数のコイルセクションないしミラーコイル構成は、容量性のRF結合によって誘導された絶縁性の材料のスパッタリングを減少させる。
Claim (excerpt)：
少くとも部分的に絶縁性の上部(upper portion )を有する真空チャンバーと;RF(高周波)電力ターミナルと、RF接地(RF ground )に接続されたリターン・ターミナルとを有するRF電源(power source)と;前記絶縁性の上部のまわりに巻付けられたRFインダクタコイルであって;該RFインダクタコイルは、個々が前記RF電源ターミナルおよび前記RF接地を渡って接続された複数のコイルセクションからなり;該コイルセクションの個々(each one)が、前記絶縁性の上部のまわりに巻かれて(wrapped around)おり;コイルセクションの少なくとも1つのペア(pair)が、そのそれぞれの端において共通のタップ点(tap point )を通して前記RF電源ターミナルに接続され、且つ、該ペアの個々のコイルセクションが、反対の回転方向に巻かれているものと;前記チャンバーにガスを供給するための手段と;前記チャンバーの内側で処理(processing)されるウエハを支持するための該チャンバー内のウエハ・ペデスタルとを含むことを特徴とするプラズマ・リアクター。
IPC (5)：
H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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