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J-GLOBAL ID：200903082762316058

静電リレー

Inventor： 一矢 光雄 ,  笠野 文宏 ,  西村 広海
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993185282
Publication number (International publication number)：1995045175
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】振動、衝撃によっても破損を起こさない静電リレーを提供するにある。【構成】シリコンウェハからなる可動片2の上に支持バネ用金属薄膜29を付着してある。この支持バネ用金属薄膜29は可動片2の支持端部9を形成するため振動や衝撃による支持端部9の折損を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

固定電極を形成せるシリコンウェハからなる2つの固定片と、可動電力を形成せるシリコンウェハからなり上記両固定片によってサンドイッチ状に挟まれ上記可動電極が移動可能に支持された可動片とで構成され、上記両固定片の各固定電極上にエレクトレットを形成し、可動片と固定片とには可動片の移動により互いに接離する接点を設けたことを特徴とする静電リレーにおいて、上記シリコンウェハからなる可動片の上に金属を付着し、少なくとも可動片の支持端部周辺を金属のみで構成したことを特徴とする静電リレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電リレー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-153538   Applicant：松下電工株式会社