被測定透明基板の傷検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：油井透 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996317537
Publication number (International publication number)：1998160680
Application date： Nov. 28, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】水晶ブランクの載置時、水晶ブランクを基板載置台の定位置に容易に載置でき、ピックアップ時には基板載置台から容易に離脱して搬送できるようにする。【解決手段】水晶ブランク1の傷検査は、搬送ロボットアーム22で基板載置台2に水晶ブランク1を搬送して光学的に行う。この基板載置台2の載置面に、800〜1500番の粒径の研磨粒子で傷を付け、フッ酸で処理して滑らかな凹凸3を形成する。これにより載置時は水晶ブランク1が基板載置台2上を滑ることがなくなり、載置後は基板載置台2に密着することもなくなる。

Claim (excerpt)：

搬送ロボットによって基板載置台に被測定透明基板を搬送して傷を光学的に検査し、検査後再度搬送ロボットによって搬送される被測定透明基板の傷検査装置において、上記基板載置台の載置面に800〜1500番の粒径の研磨粒子で傷を付け、酸で処理して滑らかな凹凸を形成してあることを特徴とする被測定透明基板の傷検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

水晶板の分類装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-258944 Applicant：理学電機株式会社
住宅の室内固定窓
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-337071 Applicant：積水化学工業株式会社
特開平1-171764

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