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J-GLOBAL ID：200903045451476890

電極基板およびその製造方法

Inventor：
木村 幸弘

About 木村 幸弘

, 
今吉 孝二

About 今吉 孝二

, 
福吉 健蔵

About 福吉 健蔵


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998327187
Publication number (International publication number)：2000147540
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：
【要約】【課題】高い信頼性(耐久性)を有しエッチング性が良く、かつ、低コストで量産性に優れた、銀系薄膜を酸化物薄膜にて挟持した多層構成の積層膜を有する電極基板を提供する。【解決手段】基板上に少なくとも、下側酸化物層、銀系薄膜および上側酸化物層を順次積層した積層膜を配設した電極基板において、下側酸化物層を、酸化セリウムを主材とし、これに酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化タンタル、および酸化タングステンのうちから選ばれた1種類以上の酸化物を混合した混合酸化物とすることを特徴とする電極基板。
Claim (excerpt)：
基板上に少なくとも、下側酸化物層、銀系薄膜および上側酸化物層を順次積層した積層膜を配設した電極基板において、下側酸化物層を、酸化セリウムを主材とし、これに酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化タンタル、および酸化タングステンのうちから選ばれた1種類以上の酸化物を混合した混合酸化物とすることを特徴とする電極基板。
IPC (5)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 336 ,  H01M 14/00 ,  H05B 33/26
FI (5)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 336 ,  H01M 14/00 P ,  H05B 33/26 Z
F-Term (45)：
2H090HA04 ,  2H090HB02X ,  2H090HC03 ,  2H090HC16 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090HD02 ,  2H090JC17 ,  2H090JD10 ,  2H090LA03 ,  2H092GA05 ,  2H092HA05 ,  2H092MA05 ,  2H092NA18 ,  2H092NA25 ,  2H092PA03 ,  3K007AB00 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007CB04 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  5C094AA15 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA46 ,  5C094AA60 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094EA00 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094ED02 ,  5C094GB10 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB00 ,  5H032BB05 ,  5H032EE02 ,  5H032HH01 ,  5H032HH04 ,  5H032HH07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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