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J-GLOBAL ID：200903045498833291
レジスト用剥離液組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995032817
Publication number (International publication number)：1996202052
Application date： Jan. 31, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【構成】フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、水溶性有機溶媒、及び防食剤を含有するレジスト剥離液組成物。【効果】本発明のレジスト剥離液組成物は、過酷な処理条件で変質したレジスト膜であっても低温(室温)、短時間で良好に剥離することができるとともに、腐食され易いAl、Al-Si、Al-Si-Cu等の基板を腐食することがない。
Claim (excerpt)：
フッ化水素酸、水溶性有機溶媒、及び防食剤を含有することを特徴とするレジスト用剥離液組成物。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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