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J-GLOBAL ID：200903045512788040

パターン検査装置および方法

Inventor：
佐々 泰志

About 佐々 泰志

, 
谷口 和隆

About 谷口 和隆


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 島田 明宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008102876
Publication number (International publication number)：2009250937
Application date： Apr. 10, 2008
Publication date： Oct. 29, 2009
Summary：
【課題】事前設定を行わずに2枚の画像の輝度を揃えてパターン検査を正確に行う。【解決手段】エッジ検出部21は、被検査画像OBJに含まれる水平エッジと垂直エッジを検出する。水平補正値算出部22は、水平補正値Aとして、被検査画像の水平非エッジ領域(水平方向に並び、垂直エッジ上の画素で挟まれた画素からなる領域)内の画素値の平均値と参照画像REFの対応位置にある領域内の画素値の平均値との差を求める。垂直補正値算出部23は同様に垂直補正値Bを求め、補正値選択部24は水平補正値Aと垂直補正値Bを含む複数の候補の中から補正値Cを選択する。補正部25は補正値Cを用いて被検査画像を補正し、比較部26は補正後の被検査画像と参照画像の差を求める。欠陥判定部32は、求めた差に基づき被検査物における欠陥を検出する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
所定パターンが形成された被検査物を撮影した多値の被検査画像と、前記被検査画像の基準となる多値の参照画像のうち一方を第1画像とし、他方を第2画像として両者を比較することにより、前記被検査物における欠陥を検出するパターン検査装置であって、 前記第1画像に含まれる所定方向のエッジを検出するエッジ検出手段と、 前記エッジ検出手段によるエッジ検出結果に基づき、エッジ上の画素で挟まれた画素からなる非エッジ領域を前記第1画像から抽出し、前記非エッジ領域内の画素値と前記第2画像の対応位置にある領域内の画素値とに基づき、前記非エッジ領域に適用する補正値を求める補正値算出手段と、 前記補正値算出手段で求めた補正値を用いて、前記第1画像を補正する補正手段と、 前記補正手段で補正された第1画像と前記第2画像との差を求める比較手段と、 前記比較手段で求めた差に基づき、前記被検査物における欠陥を検出する欠陥判定手段とを備えた、パターン検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00
FI (3)：
G01N21/956 A ,  G01N21/88 J ,  G06T1/00 305A
F-Term (28)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC02 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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