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J-GLOBAL ID：200903045680842689

定電位電解式ガスセンサの電極

Inventor： 中村 隆紀 ,  紺野 和夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ガステック
Agent (1)： 佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995123489
Publication number (International publication number)：1996313480
Application date： May. 23, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造用ガスを検知する電極であって、アルシン、ホスフィン等を検知した出力電流値が高く、干渉ガスとして存在する水素の干渉が小さく、かつアルコールに対しても感度が非常に低く、許容濃度以下で警報を出すことができる定電位電解式ガスセンサの電極を提供すること。【構成】 半導体製造に使用するガスの検知に用いる定電位電解式ガスセンサの電極であって、導電性の材質からなる担体に金の超微粒子からなる触媒を担持させたことからなる定電位電解式ガスセンサの電極である。

Claim (excerpt)：

半導体製造に使用するガスの検知に用いる定電位電解式ガスセンサの電極であって、導電性の材質からなる担体に金の超微粒子からなる触媒を担持させたことを特徴とする定電位電解式ガスセンサの電極。

IPC (2)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/404

FI (3)：

G01N 27/46 311 A ,  G01N 27/30 341 K ,  G01N 27/46 311 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 定電位電解式ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-017330   Applicant：株式会社ガステック
• 特開平3-152452