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J-GLOBAL ID：200903045766459632

モアレ測定方法及びそれを用いたモアレ測定装置

Inventor：
神谷 誠一

About 神谷 誠一


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998301681
Publication number (International publication number)：2000121335
Application date： Oct. 08, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 光学部品の形状や光学材料の屈折率の分布をモアレを利用して高精度に測定することができるモアレ測定方法及びそれを用いたモアレ測定装置を得ること。【解決手段】 被測定物の光波面情報を含んだ被測定画像情報とキャリア成分を含む仮想画像情報とから仮想的にモアレ縞を発生させ、被測定物の光波面情報の形状誤差を2次元位相分布から検出するモアレ測定方法において、該モアレ縞に含まれるキャリア成分を除去するフィルタリング方法として畳み込み積分を利用すること。
Claim (excerpt)：
被測定物の光波面情報を含んだ被測定画像情報とキャリア成分を含む仮想画像情報とから仮想的にモアレ縞を発生させ、被測定物の光波面情報の形状誤差を2次元位相分布から検出するモアレ測定方法において、該モアレ縞に含まれるキャリア成分を除去するフィルタリング方法として畳み込み積分を利用することを特徴とするモアレ測定方法。
IPC (2)：
G01B 11/24 ,  G01M 11/02
FI (2)：
G01B 11/24 D ,  G01M 11/02 B
F-Term (30)：
2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF06 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G086FF01 ,  2G086GG04 ,  2G086HH07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 特公平7-060086
  • 形状測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-242609   Applicant：キヤノン株式会社

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