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J-GLOBAL ID：200903045922044014

光学装置および逆分散型二重分光器

Inventor：
勝沼 淳

About 勝沼 淳


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003434674
Publication number (International publication number)：2004233341
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Aug. 19, 2004
Summary：
【課題】 本光路上での光量を損失することなく光をモニタできる光学装置および逆分散型二重分光器を提供すること。【解決手段】 複数の波長域からなる入力光を自由空間に射出する入力手段11と、前記入力光をコリメートして平行光L1を射出するコリメート手段12と、平行光に対して少なくとも1回の波長分散作用を与えることにより出力用の第1の回折光L7を生成する波長分散手段13と、平行光L1から第1の回折光L7が生成されるまでの出力光路の延長上に配置され、第1の回折光を出力する出力手段18,19と、波長分散作用ごとに発生する回折光のうち、出力光路から外れた方向に発生する第2の回折光L8のスペクトル情報をモニタするモニタ手段20,21とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
複数の波長域からなる入力光を自由空間に射出する入力手段と、 前記入力光をコリメートして平行光を射出するコリメート手段と、 前記平行光に対して少なくとも1回の波長分散作用を与えることにより出力用の第1の回折光を生成する波長分散手段と、 前記平行光から前記第1の回折光が生成されるまでの出力光路の延長上に配置され、前記第1の回折光を出力する出力手段と、 前記波長分散作用ごとに発生する回折光のうち、前記出力光路から外れた方向に発生する第2の回折光のスペクトル情報をモニタするモニタ手段とを備えた ことを特徴とする光学装置。
IPC (3)：
G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B5/18
FI (3)：
G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B5/18
F-Term (10)：
2G020AA03 ,  2G020CC04 ,  2G020CC32 ,  2G020CD04 ,  2G020CD24 ,  2H049AA06 ,  2H049AA12 ,  2H049AA50 ,  2H049AA58 ,  2H049AA64
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 2次元像分光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-278330   Applicant：株式会社日立製作所
  • 特開昭61-233326
  • 分光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-375631   Applicant：横河電機株式会社
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