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J-GLOBAL ID：200903045936375536

放電用電極

Inventor： 柴田 哲司 ,  中園 佳幸 ,  田口 典幸 ,  澤田 康志
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (2)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004219337
Publication number (International publication number)：2006040734
Application date： Jul. 27, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：

【課題】 耐久性が高くて長時間連続して放電を安定して発生させることができる放電用電極を提供する。【解決手段】 収納凹部1を有するカバー材2をセラミック焼結体で形成する。収納凹部1に電極3を設けると共に収納凹部1内の面に電極3の表面を密着させる。セラミック焼結体はセラミックの溶射コーティング層に比べて、空隙率を小さくして緻密にすることができ、このセラミック焼結体のカバー材2で電極3を被覆することにより、放電時に絶縁破壊が起こりにくくなってカバー材2の損傷を防止することができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

収納凹部を有するカバー材をセラミック焼結体で形成し、収納凹部に電極を設けると共に収納凹部内の面に電極の表面を密着させて成ることを特徴とする放電用電極。

IPC (2)：

H05H 1/24 ,  C04B 37/02

FI (2)：

H05H1/24 ,  C04B37/02 B

F-Term (6)：

4G026BA03 ,  4G026BB21 ,  4G026BE04 ,  4G026BF11 ,  4G026BG09 ,  4G026BH13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 電極構造およびそれを用いた放電プラズマ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-311646   Applicant：積水化学工業株式会社
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-281708   Applicant：松下電工株式会社
• 特開平4-358076号公報