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J-GLOBAL ID：200903045959635217

面状ヒータ

Inventor： 外谷 栄一 ,  市島 雅彦 ,  永田 智浩 ,  本多 恭章 ,  三谷 慎一
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社 ,  東芝機械株式会社
Agent (1)： 赤野 牧子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997026186
Publication number (International publication number)：1998208855
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被加熱体の面内温度分布を均一に加熱できる面ヒータの提供。特に、ヒータ上方で回転する被加熱体面で回転による同心円状の温度ムラの発生を防止できる面状ヒータの提供。【解決手段】 被加熱体の支持部材の下方にほぼ同心状に配設される電気抵抗式面状ヒータであって、帯状ヒータにより少なくとも該被加熱体外周部を包囲可能な面形状に形成されると共に、該帯状ヒータが2以上の分割ヒータに分割され、各分割ヒータが両端部に端子を有すると共に、該分割ヒータの両端子間が少なくとも1個の屈折部を有して所定に屈折されてなることを特徴とする面状ヒータ。上記面状ヒータにおいて、被加熱体の支持部材が、半導体気相成長反応室のウエハ支持部材であり、前記帯状ヒータがガラス状カーボン製で前記面形状が前記被加熱体とほぼ同形状またはその外形より大きな外形状に形成されることが好ましい。

Claim (excerpt)：

被加熱体の支持部材の下方にほぼ同心状に配設される電気抵抗式面状ヒータであって、帯状ヒータにより少なくとも該被加熱体外周部を包囲可能な面形状に形成されると共に、該帯状ヒータが2以上の分割ヒータに分割され、各分割ヒータが両端部に端子を有すると共に、該分割ヒータの両端子間が少なくとも1個の屈折部を有して所定に屈折されてなることを特徴とする面状ヒータ。

IPC (4)：

H05B 3/20 311 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/14

FI (4)：

H05B 3/20 311 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/14 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-253255   Applicant：東芝機械株式会社
• 特開平4-160788
  
• 半導体熱処理用の電気抵抗式ガラス状カーボン製ヒータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-171590   Applicant：東芝セラミックス株式会社, 東芝機械株式会社
• 特開昭63-216283
  
• 特開平4-160788
  
• 特開昭63-216283