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J-GLOBAL ID:200903046006611643

膜デバイス

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 谷川 英次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004249697
Publication number (International publication number):2006061870
Application date: Aug. 30, 2004
Publication date: Mar. 09, 2006
Summary:
【課題】 マイクロ化学チップとして用いられる膜デバイスにおいて、基板で厚い分離膜を挟み込もうとするときに、膜厚に起因して、接合ができないか、接合後も膜周辺部に空隙の形成がみられるという問題を解決すること。【解決手段】 膜デバイスは、少なくとも1枚に凹部が形成された面を有する複数の基材と外部で作成した分離膜とを接合して得られる膜デバイスであって、該分離膜は分離膜の側部および一方の面の一部で、該基材のうちの1枚によって保持され、少なくとも保持された分離膜周辺部で分離膜および基材の接合面側を同一面としたことを特徴とする。【選択図】 図10
Claim (excerpt):
少なくとも1枚に凹部が形成された面を有する複数の基材と外部で作成した分離膜とを接合して得られる膜デバイスであって、該分離膜は分離膜の側部および一方の面の一部で、該基材のうちの1枚によって保持され、少なくとも保持された分離膜周辺部で分離膜および基材の接合面側を同一面としたことを特徴とする膜デバイス。
IPC (3):
B01J 19/00 ,  B01D 63/00 ,  G01N 1/28
FI (3):
B01J19/00 321 ,  B01D63/00 ,  G01N1/28 N
F-Term (56):
2G052AA33 ,  2G052AB01 ,  2G052AB11 ,  2G052AB21 ,  2G052AD22 ,  2G052AD26 ,  2G052EA02 ,  2G052EA13 ,  2G052EA17 ,  2G052ED01 ,  2G052ED14 ,  2G052FD01 ,  2G052GA31 ,  2G052JA04 ,  4D006GA02 ,  4D006GA13 ,  4D006GA17 ,  4D006GA25 ,  4D006GA28 ,  4D006GA41 ,  4D006HA41 ,  4D006JA07A ,  4D006JA22A ,  4D006JB01 ,  4D006MC02 ,  4D006MC03 ,  4D006MC04 ,  4D006MC12 ,  4D006MC16 ,  4D006MC18 ,  4D006MC22 ,  4D006MC24 ,  4D006MC27 ,  4D006MC28 ,  4D006MC29 ,  4D006MC30 ,  4D006MC33 ,  4D006MC37 ,  4D006MC39 ,  4D006MC48 ,  4D006MC49 ,  4D006MC54 ,  4D006MC62 ,  4D006MC63 ,  4D006PA01 ,  4D006PB15 ,  4D006PC69 ,  4G075AA02 ,  4G075AA39 ,  4G075BB05 ,  4G075DA02 ,  4G075EE01 ,  4G075FA05 ,  4G075FA12 ,  4G075FB12 ,  4G075FC02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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