水素化アモルファスカーボン膜

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：磯野道造 , 多田悦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007229766
Publication number (International publication number)：2009062206
Application date： Sep. 05, 2007
Publication date： Mar. 26, 2009
Summary：

【課題】低面粗度による低い相手攻撃性を有するばかりでなく、高硬度を有し、さらに、優れた耐磨耗性を有するとともに、従来のPVD法よりも生産性が高く、膜の着き回り性に優れるCVD法によって製造できるため、低コストを実現できる水素化アモルファスカーボン膜の提供。【解決手段】プラズマCVD法によって炭化水素ガスから得られる水素化アモルファスカーボン膜であって、Arレーザ(波長:488nm)によるラマン分光分析によって測定されるラマンスペクトルのGバンドシフトが1550〜1559cm-1、かつGバンド半値幅が180〜197cm-1であることを特徴とする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

プラズマCVD法によって炭化水素ガスから得られる水素化アモルファスカーボン膜であって、 Arレーザ(波長:488nm)によるラマン分光分析によって測定されるラマンスペクトルのGバンドシフトが1550〜1559cm-1、かつGバンド半値幅が180〜197cm-1であることを特徴とする水素化アモルファスカーボン膜。

IPC (3)：

C01B 31/02 , C23C 16/505 , C23C 16/27

FI (3)：

C01B31/02 101Z , C23C16/505 , C23C16/27

F-Term (21)：

4G146AA05 , 4G146AA17 , 4G146AB07 , 4G146AC23A , 4G146AC23B , 4G146AD02 , 4G146AD26 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC09 , 4G146DA02 , 4G146DA16 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030BB13 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030FA04 , 4K030JA05 , 4K030KA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

非晶質カーボン被覆工具およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-169117 Applicant：住友電気工業株式会社, 日新電機株式会社, 日本アイ・ティ・エフ株式会社
非晶質カーボン被覆工具およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-169126 Applicant：住友電気工業株式会社, 日新電機株式会社, 日本アイ・ティ・エフ株式会社
非晶質カーボン被覆工具およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-169107 Applicant：住友電気工業株式会社, 日新電機株式会社, 日本アイ・ティ・エフ株式会社

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