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J-GLOBAL ID:200903046142228276
分離可能な独立駆動型モジュールを有するインプリンティング装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (4):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
, 平田 晴洋
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2006554017
Publication number (International publication number):2007531985
Application date: Jan. 27, 2005
Publication date: Nov. 08, 2007
Summary:
インプリンティング装置は、プレートユニットと、前記プレートユニットの下面に複数個配置され、所定のコントローラによって前記プレートユニットに伴って上下動すると共に、各々が6自由度方式で自己整合するインプリンティングモジュールとを備える。各インプリンティングモジュールの下端面に形成されたパターンを対象物の所定の範囲内にインプリンティングし、且つ、複数のインプリンティングモジュールで対象物にインプリンティングする順番を多様に制御するために、インプリンティングモジュールの各々は、対象物に対する相対的な姿勢ずれを補正するよう、対象物の表面状態に応じて独立的に自己整合可能とされている。
Claim (excerpt):
プレートユニットと、
前記プレートユニットの下面に複数個配置され、所定のコントローラによって前記プレートユニットに伴って上下動すると共に、各々が6自由度方式で自己整合するインプリンティングモジュールと、を備えたインプリンティング装置であって、
前記インプリンティングモジュールの各々は、それぞれのインプリンティングモジュールの下端面に形成されたパターンを対象物表面の所定の範囲内にインプリンティングさせるために、対象物に対する相対的な姿勢ずれを補正することができるよう、対象物の表面状態に応じて独立的に自己整合が可能とされ、且つ、
複数のインプリンティングモジュールで対象物にインプリンティングする順番を多様に制御することが可能とされていることを特徴とするインプリンティング装置。
IPC (2):
FI (2):
H01L21/30 502D
, B81C5/00
F-Term (4):
3C081AA01
, 3C081BA55
, 3C081CA37
, 5F046BA10
Patent cited by the Patent:
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