インプリント・リソグラフィのための高精度方向付けアライメントデバイスおよびギャップ制御デバイス

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山川政樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001535125
Publication number (International publication number)：2003517727
Application date： Oct. 30, 2000
Publication date： May. 27, 2003
Summary：

【要約】インプリント・リソグラフィ中にテンプレートと基板を高精度に位置付けするプロセスおよび関連したデバイスは、精度の粗い較正ステージと、テンプレートと基板の間に一様なギャップを維持することができる高精度の方向付けステージを有する構成システムを含む。高精度の方向付けステージは、第1および第2の方向付け軸が交わるピボット点の周りの動きを行うためのたわみ継目を有する一対のたわみ部材を含む。アクチュエータは長くなったり、短くなったりして、たわみ部材を広げたり縮めたりする。テンプレートの分離は、基板からインプリントされた形状を破壊しないようにする剥しと引っ張りの方法を使用して行われる。

Claim (excerpt)：

リソグラフ形成したテンプレートと基板の間にギャップを生成するように、前記テンプレートと前記基板を離間した関係で互いに方向付けするステップと、前記ギャップを設定する前または後に供給されることがあるUV硬化可能液体を前記ギャップに充填するステップと、前記ギャップ内の前記UV硬化可能液体を硬化させるステップと、パターンが前記テンプレートから前記基板に転写されて前記基板上に所望の形状を残すように、前記テンプレートと前記基板を分離するステップとを含むインプリント・リソグラフィのプロセス。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (4)：

G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 D , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 503 C

F-Term (3)：

5F046BA10 , 5F046CC01 , 5F046CC10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

薄膜パターン製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-270458 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-023243
情報記録ディスク用のスタンパの作成処理方法及びその装置並びにスタンパ及び情報記録ディスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-271645 Applicant：株式会社ソニー・ディスクテクノロジー

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