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J-GLOBAL ID：200903046276933421

基板保持部材および塗布装置

Inventor： 村上 慎一郎 ,  竹本 潤 ,  中島 泰秀 ,  宮川 俊二 ,  矢口 孝 ,  村田 正幸
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 米田 潤三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996114294
Publication number (International publication number)：1997276776
Application date： Apr. 11, 1996
Publication date： Oct. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの基板を、そのサイズに対応して確実に保持することができる基板保持部材と、このような基板保持部材を備え、均一な塗布膜の形成が可能な塗布装置を提供する。【解決手段】 少なくとも周縁を含む所定箇所に土堤部を備え、該土堤部の上面は平坦で、かつ、単一平面内にあり、さらに、周囲を前記土堤部によって囲まれた領域に吸引用の口部を備えるような基部と、この基部上に、基部よりも面積が小さいとともに複数の吸引孔を表面から裏面に貫通して備えた保持用平板を、吸引孔が形成されていない部分を前記土堤部の上面と密接させて装着させて基板保持部材とし、保持用平板上に吸引によって前記保持用平板よりも面積の大きい基板を保持する。

Claim (excerpt)：

基部上に該基部よりも面積が小さく着脱可能な保持用平板を備え、該保持用平板上に吸引によって前記保持用平板よりも面積の大きい基板を保持する基板保持部材であって、前記基部は、少なくとも周縁を含む所定箇所に土堤部を備え、該土堤部の上面は平坦で、かつ、単一平面内にあり、さらに、前記基部は、周囲を前記土堤部によって囲まれた領域に吸引用の口部を備え、前記保持用平板は、複数の吸引孔を表面から裏面に貫通して備え、該吸引孔が形成されていない部分を前記土堤部の上面と密接させて前記基部上に装着可能である、ことを特徴とする基板保持部材。

IPC (2)：

B05C 13/02 ,  B05C 5/02

FI (2)：

B05C 13/02 ,  B05C 5/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 基板保持装置およびこれを用いた露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-232375   Applicant：キヤノン株式会社