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J-GLOBAL ID:200903046416473850
太陽電池およびその製造方法、並びに多層薄膜形成方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994310981
Publication number (International publication number):1995240531
Application date: Dec. 14, 1994
Publication date: Sep. 12, 1995
Summary:
【要約】【目的】 安価で変換効率の高い太陽電池を得る。【構成】 ガラス製透明基板251に透明電導膜252を形成し、その上にアモルファス状に形成すると同時に指向性の高いNe原子流を各半導体層212,214に照射することによって、各入射方向に垂直に最稠密面が配向するよう単結晶化してp型の第1の半導体層253を形成する。この際、第1の半導体層253を可及的に薄く形成し、光透過性を上げる。その上にアモルファス系の真性半導体層255を形成し、さらにアモルファス系または結晶系のn型の第2の半導体層254を形成する。主に長波長光は第1の半導体層253で吸収し、短波長光は真性半導体層255で吸収する。第1の半導体層253が単結晶であるため、少数担体の吸収が少なく変換効率が向上する。【効果】 変換効率が高く、しかも安価に製造可能である。
Claim (excerpt):
基板と、該基板の上面側に該基板と異なる材料で形成された第1導電型の第1の半導体膜と、該第1の半導体膜に接続される第1の電極と、前記第1の半導体膜の上面に形成された第2導電型の第2の半導体膜と、該第2の半導体膜側に接続される第2の電極とを備え、前記第1の半導体膜および第2の半導体膜は単結晶膜で構成されたことを特徴とする太陽電池。
IPC (2):
FI (3):
H01L 31/04 A
, H01L 31/04 X
, H01L 31/04 E
Patent cited by the Patent: