検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木内修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001189205
Publication number (International publication number)：2003004655
Application date： Jun. 22, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】複数方向に形成されたパターンを有する場合であっても、コントラストの高い試料面の全体像を得ることができる検査装置を提供する。【解決手段】複数の周期的なパターンを有する試料5を照明する照明光学系と、試料5を観察する観察光学系とを備える検査装置において、ポラライザ17を照明光学系の光軸上で所定角度づつ回転させ、ポラライザ17の回転位置に応じた複数の試料面5aの画像データを取得し、複数の画像データのうち、コントラストが高い像の画像データを信号処理部24Bで加え合わせ、ディスプレイ23に試料面5aの全体像として表示する。そのため、ディスプレイ25には、コントラストの低い画像データを取り除いた、どの方向に対してもコントラストの高い試料面5aの全体像が表示される。

Claim (excerpt)：

複数の方向に周期的なパターンを有する試料面を照明する照明光学系と、前記試料面の像を形成する観察光学系とを備える検査装置において、前記パターンの周期方向と同一方向にされた照明光の偏光方向における画像データを前記複数の方向に対して取得する撮像手段と、前記撮像手段によって取得された画像データのうち、コントラストの高い画像データだけを加え合わせる加算手段とを備えていることを特徴とする検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , G02B 21/06 , H01L 21/027

FI (4)：

G01N 21/956 A , G01B 11/30 A , G02B 21/06 , H01L 21/30 502 V

F-Term (36)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC17 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL32 , 2F065LL35 , 2F065MM02 , 2F065PP21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ31 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051BA11 , 2G051BB07 , 2G051BC07 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051EA14 , 2G051EA30 , 2G051ED30 , 2H052AC02 , 2H052AC04 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AF14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

測定検査用顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-158757 Applicant：株式会社ニコン
画像合成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-059838 Applicant：カシオ計算機株式会社
微分干渉顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-215580 Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (3)

測定検査用顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-158757 Applicant：株式会社ニコン
画像合成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-059838 Applicant：カシオ計算機株式会社
微分干渉顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-215580 Applicant：株式会社ニコン

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