Pat
J-GLOBAL ID:200903046499606732
表面状態を判定するための装置およびプログラム
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004228097
Publication number (International publication number):2006047098
Application date: Aug. 04, 2004
Publication date: Feb. 16, 2006
Summary:
【課題】検査対象物における傷その他の表面状態の判定を効率的に行う。【解決手段】検査対象物の表面状態判定装置は、対象物の予め定めた複数の部位のそれぞれについて、該部位における所定の表面状態を学習したデータマップを記憶する記憶手段と、対象物を撮像する撮像手段と、を備える。該装置は、撮像手段から取得した対象物の画像において、他の領域に対し予め定めたしきい値を超える輝度差を有する要判定領域を含むよう検査領域を設定する。該検査領域から特徴ベクトルを抽出する。対象物の複数の部位のうち、該検査領域が属する部位を判断して、該部位に対応するデータマップを選択する。特徴ベクトルを該選択されたデータマップに入力して、該検査領域が所定の表面状態を含むかどうかを判定する。こうして、個々のデータマップの容量を抑制して、判定時間の増大を防ぐ。【選択図】図10
Claim (excerpt):
検査対象物の表面状態を判定する装置であって、
前記対象物の予め定めた複数の部位のそれぞれについて、該部位における所定の表面状態を学習した判定データマップを記憶する記憶手段と、
前記対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段から取得した前記対象物の画像において、他の領域に対し予め定めたしきい値を超える輝度差を有する要判定領域を含むよう検査領域を設定する手段と、
前記検査領域から特徴ベクトルを抽出する手段と、
前記複数の部位のうち、前記検査領域が属する部位を判断して、該部位に対応するデータマップを選択する手段と、
前記特徴ベクトルを前記選択されたデータマップに入力して、該検査領域における所定の表面状態を判定する判定手段と、
を備える装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (15):
2G051AA07
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CD07
, 2G051DA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 2G051EC03
, 2G051ED04
, 2G051ED21
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
特許出願公開番号昭63-201556
-
特許出願公開番号2002-109541
Cited by examiner (6)
-
U字溝形状を有する部品表面の検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-293017
Applicant:日立金属株式会社
-
歯車等の異状診断方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-324685
Applicant:石川島播磨重工業株式会社
-
外観検査装置と該装置のマスタデータ作成方法及び該マスタデータ作成プログラム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-227934
Applicant:株式会社秋田新電元
-
水晶ブランクの検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-036318
Applicant:株式会社日本マクシス
-
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-173387
Applicant:シャープ株式会社, 株式会社エー・ディー・エス
-
半導体素子の欠陥検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-340576
Applicant:ソニー株式会社
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