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J-GLOBAL ID:200903046692043540

浮揚物品搬送システム及び搬送方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 北澤 一浩 ,  小泉 伸 ,  市川 朗子 ,  松下 ひろ美
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003561307
Publication number (International publication number):2005528586
Application date: Dec. 27, 2002
Publication date: Sep. 22, 2005
Summary:
【課題】 プリント回路基板、フラットパネルディスプレイ、及びインターコネクトデバイス基板等の略平面状基板を、浮揚状態で、撮像位置へ及び撮像位置から搬送するための搬送システム及び搬送方法の提供。【解決手段】 搬送システムは、気流コンベヤ及び撮像装置を備えている。気流コンベヤは、浮揚状態で略平面状基板を搬送し、気流による基板平坦化機能を有する。撮像装置は、該基板平坦化機能によって平坦化された該平面状基板を撮像する。
Claim (excerpt):
略平面状基板に使用される撮像システムであって、 該撮像システムは、平面状基板を少なくとも撮像位置へ搬送する気流コンベヤと、該撮像位置に位置し該平面状基板を撮像する画像取得部とを備え、 該平面状基板は、プリント回路基板、フラットパネルディスプレイ、及びインターコネクトデバイス基板から成る一群の基板から選択された基板であり、 該気流コンベヤは、少なくとも該撮像位置において気流による基板平坦化機能を有し、 該画像取得部は、該気流による基板平坦化機能によって平坦化された該平面状基板を撮像することを特徴とする撮像システム。
IPC (6):
G01N21/84 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68
FI (6):
G01N21/84 C ,  B65G49/06 Z ,  B65G51/03 C ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/30 502J
F-Term (25):
2G051AA65 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA07 ,  2H097AB07 ,  2H097BA02 ,  2H097DB11 ,  2H097LA09 ,  2H097LA11 ,  2H097LA20 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA62 ,  5F031GA64 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02 ,  5F031PA13 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20 ,  5F046CD07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • フラットパネル検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-180559   Applicant:エヌティエヌ株式会社
  • 浮上搬送装置および浮上搬送システム
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-244645   Applicant:株式会社渡邊商行, 株式会社ワコム電創
  • 特開平2-033031
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