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J-GLOBAL ID：200903046756564825

発光装置の作製方法

Inventor：
荒井 康行

About 荒井 康行


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001142465
Publication number (International publication number)：2002033190
Application date： May. 11, 2001
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：
【要約】【課題】 本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、高いスループットで膜厚分布の均一性の高い薄膜を成膜する方法を用いて自発光装置を作製する技術を提供することを目的とする。【解決手段】 蒸発物質噴出口がオリフィス状となっている蒸発セル内に低分子有機エレクトロルミネッセンス材料が封入され、不活性ガス雰囲気中で前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料を加熱して、基板上に前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料から成る発光層を形成することを特徴としている。
Claim (excerpt)：
蒸発セル内に低分子有機エレクトロルミネッセンス材料が封入され、不活性ガス雰囲気中で前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料を加熱して、基板上に前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料から成る発光層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
IPC (4)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (4)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
F-Term (20)：
3K007AB04 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB01 ,  3K007BB02 ,  3K007BB05 ,  3K007BB07 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA01 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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