Pat
J-GLOBAL ID：200903046839516474

粘着シ-ト

Inventor：
須 美 崇 二

About 須 美 崇 二

, 
近 藤 健

About 近 藤 健

, 
江 部 和 義

About 江 部 和 義


Applicant, Patent owner：
リンテック株式会社

About リンテック株式会社


Agent (1)： 鈴木 俊一郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999015860
Publication number (International publication number)：2000212526
Application date： Jan. 25, 1999
Publication date： Aug. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 実質的にエージングなしで製造でき、ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられる、粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるようなウエハ表面保護シートを提供すること。【解決手段】 本発明に係る粘着シートは、基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとからなるカルボキシル基含有共重合体と、中和剤と、エネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴としている。
Claim (excerpt)：
基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとからなるカルボキシル基含有共重合体と、中和剤と、エネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴とする粘着シート。
IPC (11)：
C09J 7/02 ,  B32B 27/00 ,  C08F 2/00 ,  C08F 2/46 ,  C08F220/00 ,  C08F220/26 ,  C08F222/00 ,  C08F290/06 ,  C09J 4/02 ,  C09J 4/06 ,  H01L 21/304 631
FI (11)：
C09J 7/02 Z ,  B32B 27/00 M ,  C08F 2/00 C ,  C08F 2/46 ,  C08F220/00 ,  C08F220/26 ,  C08F222/00 ,  C08F290/06 ,  C09J 4/02 ,  C09J 4/06 ,  H01L 21/304 631
F-Term (92)：
4F100AK04A ,  4F100AR00B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100CA30B ,  4F100CB05B ,  4F100GB41 ,  4F100JA07B ,  4F100JB05B ,  4F100JB14B ,  4F100JL13B ,  4J004AA01 ,  4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004AB07 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J011CA01 ,  4J011CA08 ,  4J011CC10 ,  4J011QA01 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA63 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011WA02 ,  4J011WA06 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA04 ,  4J027BA06 ,  4J027CA25 ,  4J027CC03 ,  4J027CC05 ,  4J027CD09 ,  4J040DF011 ,  4J040DF012 ,  4J040DF041 ,  4J040DF042 ,  4J040DF051 ,  4J040DF052 ,  4J040DG001 ,  4J040DG002 ,  4J040DG011 ,  4J040DG012 ,  4J040DN061 ,  4J040DN062 ,  4J040EH012 ,  4J040FA141 ,  4J040FA142 ,  4J040FA261 ,  4J040FA262 ,  4J040FA271 ,  4J040FA272 ,  4J040FA281 ,  4J040FA282 ,  4J040FA291 ,  4J040FA292 ,  4J040GA07 ,  4J040HA216 ,  4J040HC01 ,  4J040HC22 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB08 ,  4J040JB09 ,  4J040KA10 ,  4J040LA01 ,  4J040NA20 ,  4J100AJ01P ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL41P ,  4J100AL46P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06Q
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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