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J-GLOBAL ID：200903046839680983

金属酸化物薄膜前駆体の製造方法及びその利用

Inventor：
西沢 均

About 西沢 均


Applicant, Patent owner：
独立行政法人科学技術振興機構

About 独立行政法人科学技術振興機構


Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004090655
Publication number (International publication number)：2005272737
Application date： Mar. 25, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：
【課題】 広範囲の金属原料に適用可能で、かつ、金属酸化物薄膜の物性を良好にし得る金属酸化物薄膜前駆体の製造方法及びその利用を提供する。【解決手段】 本発明は、金属塩化物を溶剤に溶解した金属塩化物溶解液から金属酸化物薄膜前駆体を調製する金属酸化物薄膜前駆体の製造方法において、上記金属塩化物溶解液を冷却することにより塩素成分を析出し、この塩素成分を除去することにより、塩素成分を含まない金属酸化物薄膜前駆体を得ることが可能になる。そして、この金属酸化物薄膜前駆体を用いて金属酸化物薄膜を作成することで、物性が良好な金属酸化物薄膜を得ることができ、かつ、塩化物を形成する全ての金属塩化物に適用することができる。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
金属塩化物を溶剤に溶解した金属塩化物溶解液から金属酸化物薄膜前駆体を調製する金属酸化物薄膜前駆体の製造方法であって、 上記金属塩化物溶解液を冷却する析出工程と、 上記析出工程にて得られた、上記金属塩化物溶解液に含まれる物質を除去する除去工程とを含むことを特徴とする金属酸化物薄膜前駆体の製造方法。
IPC (3)：
C09D1/00 ,  B05D3/02 ,  C01B13/32
FI (3)：
C09D1/00 ,  B05D3/02 Z ,  C01B13/32
F-Term (39)：
4D075BB16X ,  4D075BB18Y ,  4D075BB22X ,  4D075BB28Z ,  4D075BB63X ,  4D075CA22 ,  4D075CB38 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EB01 ,  4D075EB56 ,  4D075EC01 ,  4D075EC07 ,  4D075EC30 ,  4D075EC54 ,  4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB22 ,  4G042DC01 ,  4G042DD02 ,  4G042DE04 ,  4G042DE14 ,  4J038HA101 ,  4J038HA111 ,  4J038HA121 ,  4J038JA16 ,  4J038JA20 ,  4J038JA37 ,  4J038JB01 ,  4J038JB03 ,  4J038KA06 ,  4J038LA03 ,  4J038LA06 ,  4J038NA20 ,  4J038PB09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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