Pat
J-GLOBAL ID：200903047489076340
パ-ティクルモニタ装置、パ-ティクルモニタ方法、及び、記録媒体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古溝 聡 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999255320
Publication number (International publication number)：2000155087
Application date： Sep. 09, 1999
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：
【要約】【課題】 簡単な構成で粒子の相対的な大きさを求める。【解決手段】 領域探索部101は、粒子によって散乱されたレーザ光を受光した散乱光検出器130から、複数の画素の輝度値を画像データとして受け取る。領域探索部101は、画像データで示される各画素の輝度値を、入力部107から入力されたしきい値と比較し、しきい値以上の輝度値を持つひとまとまりの画素領域を、1つの粒子によって散乱されたレーザ光が入射した領域として検出する。領域内最大輝度値検出部102は、領域探索部101が検出した画素領域内の最大輝度値を検出する。パーティクル発生数/大きさ通知部106は、領域内最大輝度値検出部102が検出した最大輝度値を、入力部107によって設定された基準値と比較し、粒子の相対的な大きさを求める。
Claim (excerpt)：
パーティクルモニタ対象領域にレーザ光を照射するレーザ照射手段と、マトリックス状に配置された複数の受光素子を備え、複数の前記パーティクルによって散乱された前記レーザ光の散乱光を受光し、複数の画素の輝度値を画像データとして出力する受光手段と、前記受光手段によって出力された画像データを使用して、各パーティクルによって散乱された散乱光が入射した領域に対応する画素領域を検出する領域検出手段と、前記領域検出手段によって検出された画素領域内の最大輝度値を検出する最大輝度値検出手段と、前記最大輝度値検出手段によって検出された最大輝度値を、予め設定された基準値と比較して、パーティクルの相対的な大きさを測定する大きさ測定手段と、を備えることを特徴とするパーティクルモニタ装置。
IPC (4)：
G01N 15/00
, G01B 11/00
, G01N 15/14
, H01L 21/66
G01N 15/00 A
, G01B 11/00 H
, G01N 15/14 B
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 J
Cited by applicant (2)
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粒子または欠陥の大きさ情報の測定方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-071593
Applicant：三井金属鉱業株式会社
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異物検査方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-225836
Applicant：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
Cited by examiner (2)
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