照明光学装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992219782
Publication number (International publication number)：1994053120
Application date： Jul. 27, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】複数傾斜照明を行う場合に、レチクルのパターンがその照明光の入射面に垂直な方向を長手方向とするライン・アンド・スペースパターンであるようなときに、その像のコントラストを改善する。【構成】 2次光源形成部としての空間フィルター24の4個の開口24a〜24dをそれぞれ偏光板25A〜25Dで覆い、偏光板25A〜25Dの偏光方向を光軸AXを軸とする円周の接線方向に設定する。

Claim (excerpt)：

照明光学系からの照明光によって物体上の所定領域を均一に照明する照明光学装置において、前記照明光学系は、前記所定領域を斜め方向から照明する傾斜光を形成する傾斜光形成手段と、該傾斜光を変換して、前記所定領域を傾斜照明する前記傾斜光の入射面に対し直交した方向に直線偏光する照明光を形成する偏光手段とを有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平1-143216
特開平4-180612
特開平3-227512

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Cited by examiner (2)

特開平1-143216
特開平4-180612

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