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J-GLOBAL ID:200903047671884487

酸化物単結晶の製造方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001056173
Publication number (International publication number):2001316196
Application date: Mar. 01, 2001
Publication date: Nov. 13, 2001
Summary:
【要約】【課題】単結晶の育成長さが大きくなるのに付随した単結晶結晶性の劣化を防止する。【解決手段】酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶15を接触させ、溶融物をルツボの開口から引き下げ軸Pの方向に引下げながら酸化物単結晶を育成する。種結晶15を固定する保持部材17と、保持部材の下方に取り付けられた、引き下げ軸Pに対する保持部材17の角度を傾斜させるための傾斜機構19とを備えている架台30を使用する。種結晶15を保持部材17によって保持した後、引き下げ軸に対する保持部材の角度を傾斜させることによって、種結晶15の結晶育成のために選ばれた結晶方位の引き下げ軸に対する角度を縮小させる。
Claim (excerpt):
酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を前記ルツボの開口から所定の引き下げ軸の方向に引き下げることによって、前記酸化物単結晶を育成する酸化物単結晶の製造方法であって、前記種結晶を固定保持し、その後前記単結晶を成長するために選ばれた前記種結晶の所定の結晶方位の前記引き下げ軸に対する角度を縮小させることを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。
IPC (2):
C30B 15/32 ,  C30B 15/08
FI (2):
C30B 15/32 ,  C30B 15/08
F-Term (6):
4G077AA02 ,  4G077BC32 ,  4G077BC40 ,  4G077CF01 ,  4G077EG11 ,  4G077PH01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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