酸化物単結晶の製造方法および装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996029078
Publication number (International publication number)：1996319191
Application date： Feb. 16, 1996
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【課題】μ引下げ法によって酸化物単結晶を製造するのに際して、ルツボの大きさを大型化し、あるいは原料の量を増大させても、良好な酸化物単結晶を連続的に引き下げて形成できるようにすることである。【解決手段】酸化物単結晶の原料をルツボ7内で溶融させ、溶融物8に対して種結晶15を接触させる。μ引下げ法によって、溶融物を引下げながら酸化物単結晶14を育成する。ルツボ7と、ルツボ7から延びるノズル部13とを備えており、ノズル部13の下端に単結晶育成部35が設けられている製造装置を使用する。ルツボ7と単結晶育成部35とを、互いに独立に温度制御する。

Claim (excerpt)：

酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を下方へと向かって引下げながら前記酸化物単結晶を育成する、酸化物単結晶の製造方法であって、前記ルツボと、このルツボから延びるノズル部とを備えており、このノズル部の先端に下方向を向いた単結晶育成部が設けられている製造装置を使用し、前記ルツボと前記単結晶育成部とを互いに独立に温度制御することを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。

IPC (5)：

C30B 15/20 , C30B 15/08 , C30B 15/34 , C30B 29/30 , C30B 29/60

FI (6)：

C30B 15/20 , C30B 15/08 , C30B 15/34 , C30B 29/30 C , C30B 29/30 A , C30B 29/60

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開昭56-109893
単結晶の育成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-222793 Applicant：工業技術院長
特開平4-280891

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Cited by examiner (4)

特開昭56-109893
単結晶の育成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-222793 Applicant：工業技術院長
特開平4-280891

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