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J-GLOBAL ID：200903047686105590

固体撮像装置

Inventor：
村上 一朗

About 村上 一朗


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996307952
Publication number (International publication number)：1998150179
Application date： Nov. 19, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：
【要約】【課題】 固体撮像装置において、フレア及びゴーストを防止し、封止が不要で、酸アルカリに腐食されない保護膜となり、かつシリコン半導体に対して金属元素の混入による歩留まり低下を起しにくい反射防止膜を有する固体撮像装置を提供する。【解決手段】 マイクロレンズ24の表面に、フッ化アルミニウムからなる反射防止膜26を形成する。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された受光部の上方にマイクロレンズが設けられた固体撮像装置において、前記マイクロレンズ表面にフッ化アルミニウムからなる反射防止膜を有することを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H01L 31/0232
FI (3)：
H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B ,  H01L 31/02 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 特開平4-259256
  • 特開平3-242602
  • 光学薄膜及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-271992   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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