カップ式めっき装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田中大輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999294461
Publication number (International publication number)：2001115297
Application date： Oct. 15, 1999
Publication date： Apr. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】めっき面積の増大及びめっき電流の増加に、容易に対応でき、ウェーハの被めっき面全面でのめっき膜厚が均一になるような、均一なめっき電流をウェーハへ供給することができる技術を提供する。【解決手段】めっき槽2開口部へ配置されるリング状のカソード電極Cにウェーハ3の周縁部4を接触させ、ウェーハ3とめっき槽2内部に配置されたアノード電極8とを分極し、ウェーハ3にめっき電流を供給することでめっき処理を施すようにしたカップ式めっき装置1において、リング状のカソード電極Cは複数に分割された分割カソード電極C1〜C6から形成されるとともに各分割カソード電極C1〜C6とアノード電極8とによりカレントミラー回路を形成するようにした。

Claim (excerpt)：

めっき槽開口部へ配置されるリング状のカソード電極にウェーハの周縁部を接触させ、ウェーハとめっき槽内部に配置されたアノード電極とを分極し、ウェーハにめっき電流を供給することでめっき処理を施すようにしたカップ式めっき装置において、リング状のカソード電極は複数に分割された分割カソード電極から形成されるとともに各分割カソード電極とアノード電極とによりカレントミラー回路を形成し、各分割カソードからウェーハに流れるめっき電流を均一に供給するようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

ウエハ用メッキ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-232611 Applicant：カシオ計算機株式会社
特開昭57-092190
特開平4-280992

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