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J-GLOBAL ID：200903047864154168

密閉型容器の洗浄方法及び洗浄装置

Inventor： 河場 邦夫 ,  福原 光孝
Applicant, Patent owner： 株式会社カイジョー
Agent (1)： 藤井 紘一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000325836
Publication number (International publication number)：2002126678
Application date： Oct. 25, 2000
Publication date： May. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 付着したサブミクロン粒子まで洗浄除去でき、かつ短時間で乾燥させることができる密閉型容器の洗浄方法及び洗浄装置の提供にある。【解決手段】 洗浄槽と乾燥槽とを分離し、洗浄槽は、蓋を外した密閉型容器100を、その開口部を下にした状態で載置し昇降する受台23を有するとともに、洗浄液を噴射する高圧シャワー27,28を有し、かつ洗浄液中に前記容器を浸漬する際に前記容器の内部に残留するエアを排出するエア抜きパイプ25機構を備え、超音波振動による超音波洗浄が行える。乾燥槽は、前記洗浄工程を終了した密閉型容器を収納して熱風を送り込み熱風加熱させる熱風送風機34を有するとともに、内部を減圧する減圧機構35を有する乾燥槽30とを備える。

Claim (excerpt)：

超音波洗浄槽内に洗浄液を供給するとともに蓋を外した密閉型容器をその開口部を下に向けて前記洗浄液中に浸漬し、かつ前記容器の内部に残留するエアを排出して超音波洗浄を行う工程と、洗浄液を排出し或いはそのままで容器の内外部を高圧シャワーにて洗浄する工程とを有する洗浄工程と、前記洗浄工程を終了した密閉型容器を乾燥槽に搬送して熱風を送り込み熱風加熱する工程と、乾燥槽内を減圧して減圧乾燥する工程とを有する乾燥工程とを備えた密閉型容器の洗浄方法。

IPC (5)：

B08B 9/28 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/68

FI (5)：

B08B 9/28 ,  B08B 3/02 A ,  B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 648 E ,  H01L 21/68 T

F-Term (25)：

3B116AA21 ,  3B116AB08 ,  3B116AB42 ,  3B116BB03 ,  3B116BB22 ,  3B116BB33 ,  3B116BB85 ,  3B116BB90 ,  3B116CC03 ,  3B116CD11 ,  3B201AA21 ,  3B201AB08 ,  3B201AB42 ,  3B201BB04 ,  3B201BB22 ,  3B201BB33 ,  3B201BB85 ,  3B201BB90 ,  3B201BB93 ,  3B201CB12 ,  3B201CC12 ,  3B201CC15 ,  3B201CD11 ,  5F031DA08 ,  5F031PA24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭48-074379
  
• 被洗浄物の洗浄及び乾燥方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-239359   Applicant：ジャパン・フィールド株式会社