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J-GLOBAL ID：200903047871628078

ペリクル及びその製造方法

Inventor： 浜田 裕一 ,  樫田 周
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995103553
Publication number (International publication number)：1996114912
Application date： Apr. 27, 1995
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクル膜と金属製フレームとを接着させた膜の歪みやシワなどのない、接着強度が強靭なペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクルの製造方法は、加熱接着により膜が接着剤で金属製フレームに接着されているペリクルにおいて、ペリクル膜を高周波加熱により金属製フレームに加熱接着させることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

加熱接着により膜が接着剤で金属製フレームに接着されているペリクルにおいて、ペリクル膜を高周波加熱により金属製フレームに加熱接着させてなることを特徴とするペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• リソグラフィー用ペリクル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-245827   Applicant：信越化学工業株式会社
• 特開平4-212958