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J-GLOBAL ID：200903047888930932

研磨パッド及びその製造方法

Inventor： 増井 敬志 ,  中森 雅彦 ,  山田 孝敏 ,  木村 毅 ,  数野 淳
Applicant, Patent owner： 東洋紡績株式会社 ,  東洋ゴム工業株式会社
Agent (1)： 鈴木 崇生 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001347410
Publication number (International publication number)：2003145414
Application date： Nov. 13, 2001
Publication date： May. 20, 2003
Summary：

【要約】【課題】研磨パッド(研磨層)を形成するマトリックス高分子材料に何らかの薬剤を用いて、親水化処理することなく、研磨スラリーに対する濡れ性が最適化された研磨パッド(研磨層)を提供する。また、研磨対象物を均一に研磨し、スクラッチも少なく、満足できる研磨速度を維持可能な研磨パッドを提供する。【解決手段】高分子材料をマトリックス材料とする研磨層を含有する研磨パッドにおいて、水に対する該高分子材料の接触角が70〜95°である研磨パッドとする。

Claim (excerpt)：

高分子材料をマトリックス材料とする研磨層を有し、水に対する前記高分子材料の接触角が70〜95°であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (6)：

B24B 37/00 ,  C08G 18/48 ,  C08J 5/14 CFF ,  H01L 21/304 622 ,  C08G101:00 ,  C08L 75:08

FI (6)：

B24B 37/00 C ,  C08G 18/48 F ,  C08J 5/14 CFF ,  H01L 21/304 622 F ,  C08G101:00 ,  C08L 75:08

F-Term (70)：

3C058AA07 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071AA65 ,  4F071AC16 ,  4F071AE10 ,  4F071AF06Y ,  4F071DA17 ,  4F071DA20 ,  4J034BA06 ,  4J034BA07 ,  4J034BA08 ,  4J034CA03 ,  4J034CA04 ,  4J034CA14 ,  4J034CA15 ,  4J034CB02 ,  4J034CB03 ,  4J034CB07 ,  4J034CC03 ,  4J034CC08 ,  4J034CC12 ,  4J034CC26 ,  4J034CC45 ,  4J034CC52 ,  4J034CC62 ,  4J034CC65 ,  4J034CC67 ,  4J034CD06 ,  4J034CD08 ,  4J034CD13 ,  4J034DA01 ,  4J034DB03 ,  4J034DB04 ,  4J034DB07 ,  4J034DF02 ,  4J034DF12 ,  4J034DF16 ,  4J034DF20 ,  4J034DG03 ,  4J034DG04 ,  4J034DG06 ,  4J034HA01 ,  4J034HA06 ,  4J034HA07 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC13 ,  4J034HC22 ,  4J034HC46 ,  4J034HC52 ,  4J034HC54 ,  4J034HC61 ,  4J034HC64 ,  4J034HC67 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034JA42 ,  4J034MA17 ,  4J034NA01 ,  4J034NA08 ,  4J034QA02 ,  4J034QA03 ,  4J034QA05 ,  4J034QC01 ,  4J034RA11 ,  4J034RA19 ,  4J034SA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 研磨パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-181708   Applicant：東レ株式会社
• ポリウレタン発泡体の製造方法及び研磨シート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-269117   Applicant：東洋ゴム工業株式会社
• 再剥離性発泡体ガスケット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-088961   Applicant：日本発条株式会社
• 防水通気緩衝シートおよびそれを用いた複合被覆防水工法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-119391   Applicant：鐘紡株式会社, カネボウ化成株式会社
• 研磨パッド及びこれを用いた被表面処理加工物の研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-205563   Applicant：ソニー株式会社
• 研磨布
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-089967   Applicant：ロデール・ニッタ株式会社
• 研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法及び研磨パッド用ウレタン成形物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-157421   Applicant：富士紡績株式会社
• 研磨パッド及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-044696   Applicant：東洋紡績株式会社