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J-GLOBAL ID：200903047977205273

帯電防止ウエハキャリア

Inventor： 金崎 和春 ,  吉村 正司 ,  高橋 敏明 ,  大地 広泰
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995184564
Publication number (International publication number)：1997036216
Application date： Jul. 21, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 ポリエーテルエーテルケトン樹脂70〜97重量%、及び導電性カーボンブラック3〜30重量%からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗質量が3〜50mgと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリアを提供する。【効果】 導電性を付与したウエハキャリアは静電気よるゴミ、ホコリ等の付着がなく、耐磨耗性に優れ低発塵性で、耐熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く軽量であり、高温においても高剛性が維持され、ウエハの熱処理工程、搬送、貯蔵に使用される。

Claim (excerpt)：

ポリエーテルエーテルケトン樹脂70〜97重量%、及び導電性カーボンブラック3〜30重量%からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗試験の磨耗質量が3〜50mgと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリア。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  C08K 3/04 ,  C08L 71/10 LQJ ,  H01B 1/24

FI (5)：

H01L 21/68 T ,  C08K 3/04 ,  C08L 71/10 LQJ ,  H01B 1/24 Z ,  B65D 85/38 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 基板用カセツト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-339898   Applicant：淀川化成株式会社
• 特開平4-370145