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J-GLOBAL ID：200903048096667181
複合ターゲット
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996181970
Publication number (International publication number)：1998025567
Application date： Jul. 11, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】 希酸に可溶で、導電性を有する透明導電膜を製造するために必要なスパッタリング用ターゲットを提供することにある。【解決手段】 バッキングプレート上のターゲットを、少なくとも2分割以上にしてIn2O3とSnO2からなるターゲット1とIn-Zn、In-Mg、In-Ga、Sn-Zn、Ga-Znの中から選ばれる二種の酸化物からなるターゲット2を一つのターゲットとして構成する複合ターゲットである。
Claim (excerpt)：
バッキングプレート上のターゲットを、少なくとも2分割以上にして、In2O3とSnO2からなるターゲット1と二種の酸化物からなるターゲット2を一つのターゲットとして構成することを特徴とする複合ターゲット。
IPC (2)：
FI (3)：
C23C 14/34 A
, C23C 14/08 D
, C23C 14/08 K
Cited by examiner (5)
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