マイクロ波プラズマ反応器

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤野清也 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995501806
Publication number (International publication number)：1997503611
Application date： May. 19, 1994
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】マイクロ波エネルギーにより励起してプラズマにする気体を入れる室(52)を含むマイクロ波プラズマ反応器(50)、室内に2つの面(61、63)を有し、かつマイクロ波エネルギーを一方の面から室内に放射して放射面(63)の近くにプラズマを形成する電極(62)、およびプラズマを形成するためのマイクロ波エネルギーを提供する2つの電極面の他方(61)の上にマイクロ波エネルギーを導入する導波路または同軸導体(64)。

Claim (excerpt)：

マイクロ波エネルギーにより励起してプラズマにする気体を入れる室と、 2つの面を有し、かつ一方の面からマイクロ波エネルギーを該室内に放射して、該放射面の近くにプラズマを形成する、該室内に配置された電極と、プラズマを形成するためのエネルギーを提供する2つの電極面の他方にマイクロ波エネルギーを導入する手段と、を含むマイクロ波プラズマ反応器。

IPC (3)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , C23F 4/00

FI (3)：

H05H 1/46 B , C23C 16/50 , C23F 4/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-184899
特開平1-159379
特開平3-215659

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