センサー用電極

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高山敏夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995088709
Publication number (International publication number)：1996261979
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】電極間距離を小さくし、その結果電極面積を小さくすることによって高感度の溶液センサをうること。【構成】溶液またはガスを検知するセンサにおいて、基板1上に金属薄膜2と絶縁膜3とが積層されて構成され、かつ金属薄膜2を電極とするセンサ。

Claim (excerpt)：

溶液またはガスを検知するセンサにおいて、基板上に絶縁体薄膜と金属薄膜とが積み重なった構造の多層膜からなり、該金属薄膜を電極として使用することを特徴とするセンサー用電極。

IPC (3)：

G01N 27/30 , G01N 27/12 , G01N 27/28 331

FI (3)：

G01N 27/30 F , G01N 27/12 B , G01N 27/28 331 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-177815 Applicant：日本電信電話株式会社
特表平3-505785
特開平2-019757

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Cited by examiner (5)

ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-177815 Applicant：日本電信電話株式会社
特表平3-505785
特開平2-019757

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