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J-GLOBAL ID：200903048192884495
超狭帯域化フッ素レーザ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木村 高久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999190490
Publication number (International publication number)：2001024265
Application date： Jul. 05, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 フッ素レーザにおけるライン幅を、エタロン等の狭帯域化素子を用いること無く、0.2〜0.3pm程度まで狭帯域化することのできる超狭帯域化フッ素レーザ装置を提供する。【解決手段】 発振器11では、出力鏡13と全反射鏡14とで構成された安定型の共振器の間に、レーザチャンバ15が配置されている。レーザチャンバ15内では、レーザガスが約0.8気圧に満たされている。その結果、レーザチャンバ15で放電させてレーザ発振すると、波長幅が約0.3pmのレーザ光L10が取り出される。増幅器12によって、レーザ光L10のパワーを増加させている。増幅器12からは、波長幅が約0.3pmで、レーザ出力が10mJ以上のレーザ光L20が出射される。
Claim (excerpt)：
フッ素を含むレーザガスが充填され、陰極と陽極との電極間に所定の放電電圧が印加されることによりフッ素レーザのレーザ光を発振するレーザチャンバを備え、この発振されたレーザ光を露光装置の露光光源として供給する超狭帯域化フッ素レーザ装置であって、前記レーザガスの圧力は、前記レーザチャンバから発振されるレーザ光の波長幅が所望の値まで狭帯域化されるべく、所定の圧力以下に設定されていることを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。
F-Term (4)：
5F071AA06
, 5F071DD05
, 5F071JJ05
, 5F071JJ10
