開口積層体の製造方法および開口積層体を用いた部品の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002311987
Publication number (International publication number)：2004142355
Application date： Oct. 28, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：

【課題】支持層と中間層と透過層を複数層積層してなる積層体にエッチング加工してなる開口積層体において、透過層にピンホールなどの悪影響をほとんど与えることなく支持層、または支持層と中間層の組にエッチング加工してなる開口積層体の製造方法、および開口積層体を用いた部品の製造方法の提供。【解決手段】支持層26と中間層28と透過層24を複数層積層してなる積層体22の少なくとも1つの接合面が、接合される層のそれぞれの面に活性化処理を施した後、活性化処理面同士が対向するように当接して重ね合わせて積層接合を施すことによって積層体22を製造する。次にこの積層体22に2段のエッチング加工を施すことによって開口積層体31を製造し、開口積層体31を用いて水素分離装置などに適用される部品を製造する。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

支持層と中間層と透過層を複数層積層してなる積層体の少なくとも1つの支持層に、エッチング処理を施し、所定の開口率で少なくとも1つの開口を設けることを特徴とする開口積層体の製造方法。

IPC (4)：

B32B31/22 , B01D69/10 , B01D71/02 , C23F1/00

FI (4)：

B32B31/22 , B01D69/10 , B01D71/02 500 , C23F1/00 A

F-Term (39)：

4D006GA41 , 4D006HA41 , 4D006JA03A , 4D006MA03 , 4D006MA30 , 4D006MB04 , 4D006MC02X , 4D006NA33 , 4D006NA47 , 4D006PA01 , 4D006PB66 , 4D006PC80 , 4F100AB01A , 4F100AB01B , 4F100AB01C , 4F100AB04A , 4F100AB24B , 4F100AB31C , 4F100AB33A , 4F100AB33B , 4F100AB33C , 4F100AT00A , 4F100AT00B , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100DC11A , 4F100DD11B , 4F100EJ15A , 4F100EJ15B , 4F100GB41 , 4F100JD02C , 4K057WA11 , 4K057WB02 , 4K057WB03 , 4K057WB17 , 4K057WD05 , 4K057WD07 , 4K057WE02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

水素分離膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-131420 Applicant：住友金属工業株式会社, 三菱化工機株式会社
エッチング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-027627 Applicant：凸版印刷株式会社
特公平4-077075

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